Aplikasi Semikonduktor Kritis
Sistem pembangkitan nitrogen kami mendukung proses manufaktur semikonduktor yang paling menuntut.
Fabrikasi Wafer
Nitrogen dengan kemurnian sangat-tinggi untuk pemrosesan, pembersihan, dan penanganan wafer guna mencegah oksidasi dan kontaminasi selama langkah-langkah fabrikasi yang penting.
Deposisi Uap Kimia (CVD)
Atmosfer nitrogen-dengan kemurnian tinggi untuk proses CVD, memastikan deposisi film tipis yang presisi tanpa gangguan oksigen atau kotoran.
Pengetsaan Plasma
Mengontrol atmosfer nitrogen untuk proses etsa plasma, menjaga transfer pola yang tepat dan mencegah oksidasi yang tidak diinginkan.
Penyolderan Aliran Ulang
Atmosfer nitrogen inert untuk penyolderan reflow dalam pengemasan dan perakitan chip, mengurangi oksidasi dan meningkatkan kualitas sambungan solder.
Ikatan Mati
Selimut nitrogen selama proses pengikatan cetakan untuk mencegah oksidasi dan memastikan adhesi optimal dalam operasi pengemasan semikonduktor.
Tekanan Ruangan Bersih
Nitrogen-kemurnian tinggi untuk tekanan dan pembersihan ruangan yang bersih, menjaga lingkungan-bebas kontaminasi yang penting untuk manufaktur semikonduktor.
Mengapa Memilih-Pembuatan Nitrogen Di Lokasi
Hilangkan ketergantungan rantai pasokan dan kurangi biaya dengan produksi nitrogen di lokasi yang andal.
Ultra-Kemurnian Tinggi
Raih kemurnian nitrogen hingga 99,9999% dengan teknologi PSA canggih dan sistem pemurnian opsional kami, yang memenuhi standar industri semikonduktor paling ketat.
Pengurangan Biaya
Mengurangi biaya nitrogen hingga 90% dibandingkan dengan pengiriman nitrogen cair, dengan ROI cepat yang biasanya dicapai dalam waktu 12-24 bulan untuk operasi semikonduktor bervolume tinggi.
Pasokan Berkelanjutan
Hilangkan gangguan pasokan dan penundaan pengiriman dengan pembuatan nitrogen sesuai permintaan 24/7, yang memastikan produksi semikonduktor tidak terganggu.
Kontrol Proses
Pertahankan kontrol yang tepat terhadap kemurnian nitrogen, laju aliran, dan tekanan dengan sistem kontrol-berbasis PLC yang canggih dan pemantauan-waktu nyata.
Peningkatan Keamanan
Menghilangkan risiko yang terkait dengan penanganan dan penyimpanan nitrogen cair kriogenik, meningkatkan keselamatan tempat kerja di fasilitas semikonduktor.
Skalabilitas
Skalakan kapasitas produksi nitrogen dengan mudah seiring berkembangnya operasi manufaktur semikonduktor Anda, tanpa batasan infrastruktur.
Spesifikasi Teknis
Direkayasa untuk presisi dan keandalan dalam lingkungan manufaktur semikonduktor.
Tingkat Kemurnian
- Standar kemurnian tinggi: 99,999% (5N) untuk aplikasi semikonduktor umum
- Kemurnian ultra-tinggi: 99,9999% (6N) untuk proses fabrikasi wafer penting
- Pemurnian Deoxo opsional untuk kadar oksigen<0.1 ppm
- Pemantauan kemurnian berkelanjutan dengan penganalisis oksigen
Spesifikasi Sistem
- Laju aliran: 10-2000 Nm³/jam (standar), tersedia kapasitas lebih tinggi
- Tekanan pengoperasian: 4-10 bar(g), dapat disesuaikan untuk kebutuhan spesifik
- Titik embun: -40 derajat hingga -70 derajat (dengan sistem pengering opsional)
- Kontrol berbasis PLC-dengan HMI layar sentuh dan pencatatan data
Fitur Lanjutan
- Pengoperasian otomatis dengan pengawasan minimal yang diperlukan
- Kemampuan pemantauan dan diagnostik jarak jauh
- Waktu startup cepat 15-20 menit
- Pengoperasian-efisien energi dengan konsumsi daya rendah
Kepatuhan & Standar
- Manufaktur bersertifikat ISO 9001:2015
- Memenuhi standar SEMI untuk peralatan semikonduktor
- Desain dan bahan yang kompatibel dengan ruangan bersih
- Dokumentasi komprehensif dan dukungan validasi
Selain generator nitrogen psa, kami juga memproduksi Generator Oksigen VPSA, Generator Oksigen PSA, tangki penyimpanan, penukar panas dan produk lainnya. Jika Anda tertarik dengan Sistem nitrogen psa atau produk lainnya, silakan kirim email kesales@gneeheatex.com. Kami akan dengan senang hati melayani Anda.
